编号17:基于机器视觉的半导体致冷器件晶粒智能筛选机

发稿时间:2021-06-19浏览次数:168

成果名称:基于机器视觉的半导体致冷器件晶粒智能筛选机

研发人员:廖廷俤博士科研团队

所属领域:智能制造

完成单位:泉州师范学院

项目简介:

    半导体致冷器件晶粒智能筛选机基于机器视觉的图像处理算法和深度学习新技术,采用Linux系统和人机交互操作UI界面,通过第1工位实现晶粒3维尺寸同时成像检测,通过第2和第3工位实现晶粒4个面缺陷同时成像检测,并采用光纤传感器的振动盘料满停机装置,以及精确的晶粒运动定位与采集同步控制,实现了对半导体晶粒(尺寸1.32*1.32*2.10mm6.5/秒的匀速送料与检测,检测准确率达90%以上,检测精度达25um,解决了半导体晶粒人工检测容易产生漏检、检测准确率低、检测效率低、检测成本高等问题。实现了一台半导体晶粒筛选机可以替换5个检测员工的产能。拥有14项发明专利申请和4项授权实用新型专利。